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  • 微納電路激光成型機uLCM150 產(chǎn)品型號:uLCM150
    微納電路激光成型機
詳細內(nèi)容

1、適用晶圓尺寸:8吋及以下;

2、對準及套刻精度:±500nm;

3、直寫速度(mm2/min):≥40@1μm;

4、光刻光源波長:405nm;

5、光刻光源功率:960mW

6、數(shù)據(jù)格式:GDSII、BMP、DXF;

7、曝光模式:步進式曝光、灰度曝光 、激光拖曳曝光;

8、線性位移電機步進精度:≤100nm;

9、運動軸:配備 X、Y、Z 三維直流線性位移電機,運動平臺具有X/Y/θ方向;

10、電源:AC220V/50Hz800W;

11、機器重量:750kg;

12、機器外形尺寸:D1140mm×W780mm×H1812mm。

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