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  • 微納電路蒸鍍機(jī)TES100 產(chǎn)品型號:TES100
    微納電路蒸鍍機(jī)
詳細(xì)內(nèi)容

基本參數(shù)

1、基片尺寸:4吋及以下;

2、樣品臺旋轉(zhuǎn):自轉(zhuǎn)速度010轉(zhuǎn)/分;

3、基片升降:蒸鍍距離200mm300mm可調(diào);

4、操作方式:半自動操作;

5、系統(tǒng)總控:人機(jī)界面及程序;

6、電 源:220VAC/50Hz,9KW;

7、機(jī)器重量:500kg

8、機(jī)器尺寸: D810mm× W1220mm×H1830mm

 

蒸發(fā)源、電源及鍍膜室

1、蒸發(fā)源(金屬舟狀)1套;

2、金屬蒸發(fā)源電源1套;

3、有機(jī)蒸發(fā)源3套,加熱溫度:室溫~500℃可調(diào)可控;

4、有機(jī)蒸發(fā)電源1套;

5、蒸發(fā)源均配置擋板,防止互相污染;

6、真空腔體用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼(前開門),表面電解處理;

7、極限真空:5×10-5Pa;工作真空:7×10-4Pa;

8、恢復(fù)工作真空時(shí)間:≤35分鐘左右(新設(shè)備充干氮?dú)猓?

9、漏率:關(guān)機(jī)12小時(shí)真空度≤10Pa。

 

膜厚監(jiān)測及保護(hù)系統(tǒng)

1、配備膜厚監(jiān)測儀;

2、配備1支水冷膜厚探頭;

3、設(shè)備保護(hù)系統(tǒng):系統(tǒng)有自動監(jiān)控和保護(hù)功能強(qiáng),包括真空檢測、缺水欠壓檢測與保護(hù)、相序檢測與保護(hù)。

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